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                    S100-WR寬量程型
                    更寬量程范圍內保證產品精度

                    最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

                    S100-WR寬量程型氣體層流質量流量計在S100標準型層流質量流量計的基礎上提高2倍的可精確測量范圍,實現在10%~100%的量程范圍內達到1%讀數精度,并通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法,在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。同時,內置多種氣體和混氣設置,觸屏式操作的自由切換,有效簡化了系統的復雜度,減少客戶采購成本,提高系統的穩定度。

                    特征
                    • 原理
                      層流壓差式
                      流量計
                      層流壓差式流量計
                    • 保證精度
                      10%~100%F.S.
                      流量范圍
                      10%~100%F.S. 流量范圍
                    • 高精度
                      ±1.0%
                      讀數精度
                      ±1.0%讀數精度
                    • 高重復性
                      ±0.1%
                      F.S.
                      ±0.1%F.S.
                    • 自由實現更改氣體介質
                      觸屏操作
                      調整混合氣體比例和修改部分參數信息
                      觸屏操作調整混合氣體比例和修改部分參數信息
                    • 寬溫度、壓力適用范圍
                      -20℃~60℃、1Mpa
                      以內
                      -20℃~60℃、1Mpa以內
                    • 實時顯示
                      5種
                      過程變量
                      5種過程變量
                    • 內置
                      51種
                      氣體和混氣測量
                      51種氣體和混氣測量
                    使用條件
                    兼容內置
                    43種氣體和可編輯的混合氣體
                    Compatible
                    工作流量范圍
                    1%~120%F.S.
                    Working flow range
                    介質溫度
                    -20℃~50℃
                    Medium temperature
                    環境溫度
                    -20℃~50℃
                    Ambient temperature
                    使用濕度
                    0%~98%(無冷凝)
                    Operating humidity
                    最大工作壓力
                    1Mpa
                    Working pressure
                    耐壓
                    1.5Mpa
                    Withstand voltage
                    供電電壓
                    24V ± 20%
                    Supply voltage
                    消耗電流
                    <150mA (供電電壓為24v時)
                    Current consumption
                    安裝方式
                    無指定(任意角度)
                    Installation method
                    規格型號
                    應用領域
                    標準表

                    標定臺系統搭建中的標準表

                    系統設備集成

                    需要大范圍調整流量的流控系統或設備集成

                    簡化集成

                    為簡化集成設備或對設備體積比較敏感的客戶

                    實驗研究

                    需要調控比較大流量范圍的實驗研究場合

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