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                    MC100-WR寬量程型
                    更寬量程范圍內保證產品測量控制精度

                    最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

                    MC100-WR寬量程氣體層流質量流量控制器在MC100標準型氣體層流質量流量控制器的基礎上提高2倍的可精確測量范圍,實現在10%~100%的量程范圍內達到1%設定值精度,并通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及獨創核心算法,在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。同時,內置多種氣體和混氣設置,有效簡化了系統的復雜度,減少客戶采購成本,提高系統的穩定度。

                    特征
                    • 原理
                      層流壓差式
                      流量控制器
                      層流壓差式流量控制器
                    • 保證精度的流量范圍
                      10%~100%
                      F.S.
                      10%~100%F.S.
                    • 高精度
                      ±1.0%
                      設定值精度
                      ±1.0%設定值精度
                    • 高重復性
                      ±0.1%
                      F.S.
                      ±0.1%F.S.
                    • 可選模擬信號、數字信號
                      (0~5)V、RS485
                      傳輸方式
                      (0~5)V、RS485傳輸方式
                    • 內置
                      51種
                      氣體和混氣測量
                      51種氣體和混氣測量
                    • 提供
                      上位機軟件
                      實時顯示和下載數據信息
                      上位機軟件實時顯示和下載數據信息
                    使用條件
                    兼容內置
                    51種氣體和可編輯的混合氣體
                    Compatible
                    工作流量范圍
                    1%~120%F.S.
                    Working flow range
                    介質溫度
                    -20~60℃
                    Medium temperature
                    環境溫度
                    -20~50℃
                    Ambient temperature
                    使用濕度
                    0~98%(無冷凝)
                    Operating humidity
                    最大工作壓力
                    1Mpa
                    Working pressure
                    耐壓
                    1.5Mpa
                    Withstand voltage
                    供電電壓
                    ﹢(18~30)VDC
                    Supply voltage
                    消耗電流
                    <150mA (供電電壓為24v時) <300mA(<5V)
                    Current consumption
                    安裝方式
                    無指定(任意角度)
                    Installation method
                    規格型號
                    應用領域
                    標定系統

                    標定系統中的流量控制器件

                    大范圍流控

                    需要大范圍調整流量的流控系統或設備集成

                    簡化集成

                    為簡化集成設備或對設備體積比較敏感的客戶

                    實驗研究

                    需要調控比較大流量范圍的實驗研究場合

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