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                    知識庫 KNOWLEDGE BASE
                    層流壓差原理介紹

                    層流壓差原理,基于哈根泊肅葉定律設計的

                    在溫度、管徑等參數一定的情況下,氣體是層流狀態時,通過獲取層流元件兩端的壓差信號,計算出體積流量,然后通過溫度、壓力等參數的修正,獲得標準體積流量。

                    氣體通過層流元件后從湍流狀態變為層流狀態

                    層流氣體的進、出口兩端有兩條引壓管,引壓管連通至兩個壓力測試孔壓力測試孔之間有一個壓力壓差傳感器(由一個壓力傳感器和一個壓差傳感器集成在一起),能獲得兩個孔的壓力和壓差。通過壓差能獲得層流氣體的流速,從而得出氣體流量。壓差和氣體的流量趨近于線性相關(哈根泊肅葉定律)。

                    流量的概念

                    單位時間內流過一個截面的流體的體積/質量。

                    01
                    層流的概念

                    層流是流體的一種運動狀態,它做層狀的運動,其質點沿著與管軸平行的方向作平滑直線運動。

                    02
                    常用單位

                    層流質量流量計的單位一般為SLPM(升/分鐘)、SCCM(毫升/分鐘),均為標況下體積流量單位。

                    03
                    質量流量和體積流量的區別

                    在壓力和溫度確定的情況下,氣體的密度是確定的,知道體積流量就能確定質量流量。
                    標況體積流量*標況下氣體密度=標況質量流量

                    04
                    壓力/壓強的概念

                    單位面積上受的力。(度量單位體積內壓縮程度的單位)
                    1kg=100Kpa=一個大氣壓
                    1Mpa=1000Kpa=10kg
                    壓力越高,產品配件受力越大,產品就容易損壞。

                    05
                    溫度的概念

                    度量物質在分子尺度上運動的激烈程度。
                    溫度越高,對產品的要求就越高,溫度低也會造成配件變脆,容易損壞。我們標準產品適用的溫度范圍為-20℃-60℃。同樣,范圍之外的可以定制。

                    06
                    體積的概念

                    物質占用空間的大小。
                    1ML=1CC=1立方厘米
                    1L=1立方分米=1000ML
                    1立方米=1000L

                    07
                    氣體的性質

                    ①可壓縮性:氣體受到壓力時體積會收縮,壓力減小時體積會變大;
                    ②熱膨脹性:氣體的體積和壓力會受到溫度的影響;
                    ③氣體有粘性:流體發生形變時,流體內阻止流體發生形變的現象。

                    08
                    故障排除

                    一般檢查:

                    在流量計和控制器新安裝或發生故障時,應進行一般檢查。

                    • ① 檢查氣源壓力,并確保氣路通暢;
                    • ② 確保電源正常連接。
                    典型故障判斷和處理:
                    01
                    故障現象 故障可能原因 處理方法

                    開機后,無氣流流過

                    1.1氣源未開,氣路不通

                    接通氣源,開通氣路

                    1.2過濾器堵塞

                    更換過濾器

                    1.3流量計堵塞

                    返廠處理

                     

                    02
                    故障現象 故障可能原因 處理方法

                    開機不通氣的情況下,流量檢測不正常

                    2.1零點偏差

                    進行自動校準操作

                    2.2電源故障

                    檢查24V電源

                    2.3傳感器故障 返廠處理

                    2.4控制電路故障

                    返廠處理

                    03
                    故障現象 故障可能原因 處理方法

                    流量顯示不能達到滿量程

                    3.1進氣壓力低于額定值

                    提高入口氣壓

                    3.2通道堵塞

                    返廠處理

                    3.3其它電路故障

                    返廠處理

                    04
                    故障現象 故障可能原因 處理方法

                    使用高頻電源時流量計受干擾

                    4.1供電系統的地線和零線接地連接或機殼接地有問題

                    檢查接地系統,注意一點

                    4.2信號參考端連接問題

                    檢查信號連接線

                    4.3空間干擾

                    適當屏蔽,遠離干擾源,選用屏蔽線

                    05
                    故障現象 故障可能原因 處理方法

                    實際流量與顯示流量不一致

                    5.1流量計通道被污染,引起流量精度發生偏差

                    重新進行清洗標定

                    5.2流量計零點有較大漂移,不穩定

                    返廠處理

                    5.3實測工質與選擇工質不一致

                    根據實際情況切換工質

                    06
                    故障現象 故障可能原因 處理方法
                    不通氣時,發現零點不穩,或零點長時間慢漂移 6.1傳感器故障 返廠處理
                    常見問題問答
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